[发明专利]自动操纵装置和利用它测量器件的方法

摘要

一种能在与单独测量器件电学特性所花费的时间大体相同的时间内同时测量器件电学特性并精确检验器件外观的自动操纵装置和一种利用该自动操纵装置的器件测量方法。在该操纵装置内组合一种紧凑而高精度的器件外观自动检验装置，后者包括一个具有多个亮度可控的发光元件的照明装置和一个将拍摄的图像转换成待输出的像素数据的CCD照相机之类的照相机。接受了电学特性测试的器件中被分类为需要检验外观的器件在检验装置中检验其外观。在电学测试和外观检验的数据基础上将器件分类，而后输送到相应的器件存放机构内。由于在一次通过中不但能测试器件的电学特性，还能自动和准确地实现外观检测，外观检查所费的时间可大大减少，导致生产率提高和测试成本的降低。

主权项

1.一种器件自动操纵装置，用于将器件从装载器部分输送到测试部分，在该测试部分中测试上述器件的电学特性，而在测试后，将测试过的器件从测试部分输送到卸载器部分，随后在测试结果的基础上对测试过的器件进行分类，上述器件操纵装置包括：一种设置在所述装载器/卸载器部分和测试部分之间的检验器件外观用的器件外观自动检验装置，该器件外观检验装置装有亮度可控的照明机构，结构紧凑，具有高分辨率；根据测试结果按分类对被测试过的器件排列的排列装置；将由所述排列装置排列的、需进行外观检测的一类被测试过的器件输送到所述器件外观自动检测装置的装置；因此所述外观自动检测装置只检测需检测的一类被测试过的器件的外观；然后进行了外观检测的器件从所述外观自动检测装置被输送到所述卸载器部分。