[发明专利]洗涤剂及洗涤方法无效
| 申请号： | 95191326.3 | 申请日： | 1995-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN1076396C | 公开（公告）日： | 2001-12-19 |
| 发明（设计）人： | 毛冢健彦;板野充司;久保元伸 | 申请（专利权）人： | 大金工业株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/08 | 分类号： | C11D7/08;C11D7/28;C11D7/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用由０．１～４重量％的氢氟酸、５０～１５００ppm浓度的以下述通式（１）表示的表面活性剂或５０～１０００００ppm浓度的以下述通式（２）或者（３）表示的表面活性剂和水组成的洗涤剂及用该洗涤剂清洗硅片表面的洗涤方法，$R＃-[f]COONH＃-[4](1)$（式中Ｒ＃-[f]是碳原子数５～９的含氟烃基）$R＃-[f]'O(CH＃-[2]CH＃-[2]O)nR(2)$R＃-[f]'(CH＃-[2]CH＃-[2]O)nR(3)$（式中Ｒ＃-[f]'是碳原子数５～１５的含氟烃基，Ｒ是氢或碳原子数１～４的烷基，n是５～２０）。 | ||
| 搜索关键词： | 洗涤剂 洗涤 方法 | ||
【主权项】：
1.一种洗涤剂，其特征在于，由0.1～4重量％的氢氟酸、50～1500ppm浓度的以下述通式(1)表示的表面活性剂和50～100000ppm浓度的以下述通式(2)或者(3)表示的表面活性剂和剩余量的水组成，RfCOONH4(1)式中Rf是碳原子数5～9的含氟烃基，Rf’O(CH2CH2O)nR(2)Rf’(CH2CH2O)nR(3)式中Rf’是碳原子数5～15的含氟烃基，R是氢或碳原子数1～4的烷基，n是5～20的整数。
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