[实用新型]薄膜电容式湿敏装置

摘要

本实用新型属传感装置领域，具体为一种薄膜电容式湿敏装置。其特点是芯片粘接在管座上，光刻下电极在上电极引出中，上电极引出为“”形，绝缘层上面是光刻下电极和上电极引出，下面是硅基片。感湿膜上面是光刻上电极，下面是光刻下电极和上电极引出，内引线与上电极引出和下电极连接。本实用新型结构简单、成本低廉，可大规模批量生产，基础电容量大，体积小，安装使用方便。

主权项

1、一种薄膜电容式湿敏装置，它是由硅基片(1)、绝缘层(2)、光刻下电极(3)、上电极引出(4)、感湿膜(5)、光刻上电极(6)、内引线(7)、管座(8)、管帽(9)、外引线(10)、芯片(11)组成，其特征是：芯片(11)粘接在管座(8)上，光刻下电极(3)在上电极引出(4)中，上电极引出(4)为形，绝缘层(2)上面是光刻下电极(3)和上电极引出(4)，下面是硅基片(1)，感湿膜(5)上面是光刻上电极(6)，下面是光刻下电极(3)和上电极引出(4)，芯片(11)是由硅基片(1)、绝缘层(2)、光刻下电极(3)、上电极引出(4)、感湿膜(5)、光刻上电极(6)组成，内引线(7)与上电极引出(4)和下电极(3)连接。