[发明专利]半导体器件试验装置及半导体器件试验系统

摘要

一种半导体器件试验系统，可有效利用多台半导体器件试验装置。包括管理、控制多台半导体器件试验装置的主计算机、分类专用机，在主计算机内还设置有存储分配给试验完的半导体器件的序号及试验结果等器件收纳信息的收纳信息存储装置。在各试验装置的搬运器部不进行分类或只分两类即移送至通用托盘，试验完了后，根据收纳信息存储装置内的信息在分类专用机内进行器件的分类。$#!

主权项

1.一种半导体器件试验系统，包括：具有试验装置部和搬运器部的半导体器件试验装置；和设置在主计算机中的收纳信息存储装置；所述试验装置部具有测试部，所述搬运器部具有加载部和卸载部，其中所述半导体器件试验装置是这样设计的：多个要试验的半导体器件被传送到所述搬运器部的加载部，在加载部该所述搬运器部的加载搬运器将所述半导体器件从通用托盘搬运到测试托盘，所述测试托盘被传送到所述试验装置的测试部，将放置于所述测试托盘中的半导体器件与配置在所述测试部的上述试验装置的测试头导电接触而测试半导体器件的工作状况，测试终了后，将放置有试验完的半导体器件的测试托盘从所述测试部搬出至搬运器部的卸载部，以所述搬运器部的卸载搬运器将所述测试托盘的试验完的半导体器件从所述测试托盘移运到通用托盘，所述半导体器件试验系统的特征在于，所有已被试验的半导体器件在卸载部由所述搬运器部的卸载搬运器从所述测试托盘移运到通用托盘，而不进行分类；在卸载部被这样清空的测试托盘被移运到所述加载部以进行循环使用；每当一个试验完的半导体器件移送至通用托盘时，至少每个半导体器件分配的序号、半导体器件的试验结果、以及在所述测试部用于试验的插座序号等的每个半导体器件的收纳信息，就都被存储于所述收纳信息存储装置；将如此装载有试验完毕的且未经分类的半导体器件的通用托盘从所述试验装置中取出，以便使用所述收纳信息对试验完的半导体器件进一步进行新的试验和/或分类处理。