[发明专利]用于真空管的排气分析器无效
| 申请号： | 97104581.X | 申请日： | 1997-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1163400A | 公开（公告）日： | 1997-10-29 |
| 发明（设计）人： | 文成周;金都永 | 申请（专利权）人： | 三星电管株式会社 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N37/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王兆先,林长安 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于真空管的排气分析器，包括一个其中装有一真空管的简化炉；一个接在真空管的一排气出口上的模拟气室；一个接在该气室上允许气体通过的第一主气室；一个通过一第一锐孔接在第一主气室上允许气体通过的第二主气室；一个通过一第二锐孔接在第二主气室上允许气体通过的第三主气室；至少一个接在气室中至少一个上的涡轮分子泵用以抽空第一、第二和第三主气室；和一个接在第三主气室上用以分析排气的遗留气体分析器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空管 排气 分析器 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空管的排气分析器，它包括：一个简化炉其中装有一个真空管；一个连接在所述真空管的一个排气出口上的模拟气室；一个连接在所述模拟气室上允许气体从中通过的第一主气室；一个通过一个第一锐孔连接在所述第一主气室上以允许气体从中通过的第二主气室；一个通过一个第二锐孔连接在所述第二主气室上以允许气体从中通过的第三主气室；至少一个连接在所述气室中至少一个上的涡轮分子泵用以抽空每个所述第一、第二和第三主气室；和一个连接在所述第三主气室上的遗留气体分析器用以分析排气。
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