[发明专利]可变形反射镜装置及其制造方法无效
| 申请号： | 97112919.3 | 申请日： | 1997-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1177112A | 公开（公告）日： | 1998-03-25 |
| 发明（设计）人： | 崔范圭;金容权;辛宗祐 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02B7/198 | 分类号： | G02B7/198;G02B26/02 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 李晓舒 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种可变形反射镜装置的制造方法,包括在基片上按一定图案形成电极层;在基片和电极层上形成厚膜;在厚膜上表面形成支撑板;部分腐蚀厚膜形成至少一个通孔;将支撑板分成单个部分;在通孔内表面一侧形成一柱;在支撑板上表面上形成反射板;并除去厚膜。 | ||
| 搜索关键词： | 变形 反射 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可变形反射镜装置，所述装置包括：一基片；在所述基片上表面上形成的多个电极；在所述电极上安装的反射镜，所述反射镜可以相对所述电极倾斜；和至少一个柱，所述柱一端在所述电极之间与所述基片连接，所述柱另一端与所述反射镜的下表面连成一体以支撑所述反射镜，所述柱具有弹性，使所述反射镜可以倾斜。
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