[发明专利]超声波振动连结芯片安装器无效
申请号: | 97114536.9 | 申请日: | 1997-07-07 |
公开(公告)号: | CN1089488C | 公开(公告)日: | 2002-08-21 |
发明(设计)人: | 佐藤茂;胜见贡;中居诚也 | 申请(专利权)人: | 株式会社厄泰克斯 |
主分类号: | H01L21/607 | 分类号: | H01L21/607 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 张民华 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种超声波振动连结芯片安装器包括一设置在成一排的一芯片供给装置、一预对准装置和一装配装置之上的芯片携带装置,该芯片携带装置具有一沿一与这些装置的设置方向平行的方向可前后移动的活动台;该芯片安装器还包括一与活动台相连用于将芯片从芯片供给装置送到预对准装置的拾取装置,以及一连接于活动台用于将芯片从预对准装置送到装配装置的超声波振动连结装置,这样,依靠活动台的往复移动一个接一个地将诸芯片从芯片供给装置送到预对准装置,又送到装配装置。 | ||
搜索关键词: | 超声波 振动 连结 芯片 安装 | ||
【主权项】:
1.一种超声波振动连结芯片安装器,它包括:一芯片供给装置,它有一货板台,在该货板台上一待装配的芯片安装在一指定的位置;一预对准装置,它有一用于大致为芯片定位的预对准台;一装配装置,用于控制一安装台的位置,使一在安装台上的基片的芯片装配位置对准于一预定装配位置,芯片供给装置、预对准装置和装配装置以等间距排成一排;一芯片携带装置,它设在芯片供给装置、预对准装置和装配装置的上方,并具有一活动台,该活动台的位置是受控制的,使它沿一方向在两个位置之间前后移动,在该方向上设置有芯片供给装置、预对准装置和装配装置;一拾取装置,它具有一用于从货板台拾取芯片并将芯片放在预对准台上的可垂直移动的拾取臂;一超声波振动连结装置,它具有一拾取功能并可垂直移动,用于依靠一连接于一用于产生超声波振动的换能器的共振器的连结工作部拾取芯片并将该芯片放在安装台上,拾取装置和超声波振动连结装置连接于芯片携带装置的活动台,该拾取装置与该超声波振动连结装置之间的间距和预对准装置与芯片供给装置之间的间距,以及预对准装置与装配装置之间的间距相等;以及一测量装置,用于监测待装配的并由共振器的连结工作部分拾取的芯片和在安装台上的基片,并将一使芯片对准于基片的芯片装配位置的输出信号发给装配装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造