[发明专利]用于微电子互连元件的接触端头结构及其制造方法

摘要

接触端头结构被制备在牺牲衬底上,以便以后连接至互连元件,互连元件包括复合互连元件、单体互连元件、探针板的钨针、膜板探针的接触凸台以及类似元件。端头结构之间的空间关系可按照平版印刷方式以很高精度公差界定。端头结构的冶金术与要通过铜焊、镀敷或类似方法连接的互连元件的冶金术无关。接触端头结构可以容易地形成拓扑(小的、精确的、凸出的、非平面的)接触结构,例如呈截棱锥形,以便此后更好地压接式电连接至电子元件的端子。本申请描述了细长的接触端头结构,其在使用时起到弹性接触元件的作用,因此不需要连接至弹性接触元件。总体上讲,本发明的目的是制造(预制备)较‘精确’的接触端头结构(“端头”)并且将它们连接至较‘不精确’的互连元件,以改进最终形成的“带端头的”互连元件的总体能力。

主权项

1.一种制造互连元件的方法，所述互连元件具有用于与一个电子元件的端子进行连接的端部，该方法包括以下步骤：在一个牺牲衬底上预制备接触端头结构；将接触端头结构连接至互连元件的端部；和在将该接触端头结构连接至互连元件的端部之后，去除牺牲衬底，最终形成在其端部已连接有预制备的接触端头结构的带端头的互连元件。