[实用新型]下开平动式直拉单晶炉无效
| 申请号： | 99205457.5 | 申请日： | 1999-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN2371202Y | 公开（公告）日： | 2000-03-29 |
| 发明（设计）人： | 钟兴儒;田金法;吴金良;林兰英;陈诺夫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所;中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种下开平动式直拉单晶炉,包括一炉桶、一炉底,其特征在于,一炉体支架,在该炉体支架的上面固接有一炉桶,一炉底用法兰盘与炉桶的下部连接,一液压系统与炉底连接,该液压系统通过一滚轮坐于炉体支架下面的平动滑道上;本实用新型与现有技术相比可减少炉桶的工作高度,节省单晶炉占用的场地空间;同时可使单晶炉的操作更方便灵活;其可减轻起重负载;其可减少制造直拉单晶炉的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 开平 动式直拉单晶炉 | ||
【主权项】：
1、一种下开平动式直拉单晶炉，包括一炉桶、一炉底，其特征在于，一炉体支架，在该炉体支架的上面固接有一炉桶，一炉底用法兰盘与炉桶的下部连接，一液压系统与炉底连接，该液压系统通过一滚轮坐于炉体支架下面的平动滑道上。
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