[发明专利]正型放射感应性组合物无效
| 申请号： | 99801808.2 | 申请日： | 1999-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN1287630A | 公开（公告）日： | 2001-03-14 |
| 发明（设计）人： | 田村一贵 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 隗永良 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及这样两种正型放射线感应性组合物,其中,一种正型放射线感应性组合物的特征在于,含有受到酸作用而对碱水溶液的溶解性增大的聚合物、以及受到放射线照射产生酸的化合物,该聚合物受到放射线引起主链断裂的容易性大于聚甲基丙烯酸甲酯;另外一种正型放射线感应性组合物的特征在于,含有碱可溶性聚合物、具有抑制该碱可溶性聚合物碱可溶性效果,且这种抑制效果受到酸作用而降低或消失的化合物、以及受到放射线照射发生酸的化合物,该碱可溶性聚合物受到放射线引起主链断裂的容易性大于聚甲基丙烯酸甲酯。根据本发明,可以获得具有可以进行亚四分之一微米图案加工的分辨率、高感光度的正型放射线感应性组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 放射 感应 组合 | ||
【主权项】：
1．一种正型放射线感应性组合物，它是含有以下成分的正型放射线感应性组合物，(1)受到酸作用而对碱水溶液的溶解性增大的聚合物A、和/或(2)碱可溶性聚合物B和具有抑制该聚合物B碱可溶性效果、且这种抑制效果受到酸作用而降低或消失的化合物、和(3)受到放射线照射发生酸的化合物其特征在于，该聚合物A或B受到放射线引起主链断裂的容易性大于聚甲基丙烯酸甲酯。
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