[发明专利]通过电渗析再生化学镀金属沉积浴液的方法和装置

摘要

本发明涉及一种通过电渗析再生含有次磷酸根离子的化学镀金属沉积浴液,优选镍沉积浴液的方法和装置。在已知的方法和装置中,将浴液导入具有阴极Ka和阳极An的第一电渗析单元E1中的稀释舱室Dila中,这些舱室在阴极一侧通过单一选择的阳离子交换隔膜KS和在阳极一侧通过阴离子交换隔膜A与电渗析单元中的浓缩舱室Kola、Kolb相分离,稀释舱室Dila和浓缩舱室Kola、Kolb互相交替排列,根据本发明的方法和装置,其不同点在于,浴液同时导入具有阴极Ka和阳极An的一个第二电渗析单元E2的稀释舱室Di2a、Di2b中,这些舱室在阴极一侧通过单一选择的阴离子交换隔膜AS和在阳极一侧通过阴离子交换隔膜A与第二电渗析单元E2的浓缩舱室Ko2a相分离,在第二电渗析单元E2中的稀释舱室Di2a、Di2b和浓缩舱室Ko2a互相交替排列。

主权项

1．一种通过电渗析再生化学镀金属沉积浴液的方法，该浴液含有次磷酸根离子作为还原剂，其中将浴液液体导通通过具有阴极(Ka)和阳极(An)的第一电渗析单元(E1)的稀释舱室(Di1a、Di1b、…、Di1x)，这些舱室在阴极一侧通过单一选择的阳离子交换隔膜(KS)和在阳极一侧通过阴离子交换隔膜(A)使其与电渗析单元(E1)中的浓缩舱室(Ko1a、Ko1b、…、Ko1x)相分离，稀释舱室(Di1a、Di1b、…、Di1x)和浓缩舱室(Ko1a、Ko1b、…、Ko1x)互相交替排列，其特征在于，将浴液同时导入具有阴极(Ka)和阳极(An1、An2)的在第二电渗析单元(E2)中的稀释舱室(Di2a、Di2b、…、Di2x)中，这些舱室在阴极一侧通过单一选择的阴离子交换隔膜(AS)和在阳极一侧通过阴离子交换隔膜(A)使其与第二电渗析单元(E2)中的浓缩舱室(Ko2a、Ko2b、…、Ko2x)相分离，在第二电渗析单元(E2)中的稀释舱室(Di2a、Di2b、…、Di2x)和浓缩舱室(Ko2a、Ko2b、…、Ko2x)互相交替排列。